半导体设备行业:晶圆厂扩产提速,中国大陆新一轮集成电路设备采购大潮已经到来
大陆晶圆厂开始新一轮设备采购。随着研发产线投产后,多个晶圆厂开启了新一轮设备采购步伐:
今年大陆多个晶圆厂陆续投产/量产
9月,华虹半导体(无锡)项目、广州粤芯半导体项目、合肥长鑫DRAM项目均正式投产。今年年底到明年年初,国内包括燕东微电子、上海积塔半导体等的多条8寸线也将陆续投产。
长江存储:已启动新一轮设备采购工作
据DRAMeXchange显示,今年年底长江存储预计正式量产64层堆栈的3D Nand,明年开始逐步提升产能,预计2020年底有望将产能提升至月产6万片晶圆的规模,且2020年会生产128层堆栈3D Nand。
根据长江存储扩产节奏,我们估计今年一季度产能达到5K片/月,到今年年底产能达到2-2.5万片/月,如果要达到明年年底6万片/月的产能目标,还需采购3-3.5万片/月的工艺设备。
从长江存储的光刻机采购进度看,2017年二季度至2019年一季度,累计采购19台光刻机,其中7台来自Canon,12台来自ASML。2019年三季度,长江存储公布新招标4台光刻机设备,包括3台248nm光刻机和1台浸没式光刻机。
长江存储近期公布了第27-29批设备招标清单,工艺设备采购约100台,其中CVD占比39%,刻蚀设备占比21%、热处理设备占比15%,其他工艺设备分别占比1%-5%。
华力二期:正处于新一轮设备采购中
根据电子工程世界,2018年10月18日,华力微电子二期12寸先进生产线正式建成投片,产能达到1万片/月。
华力二期12英寸项目2016年9月正式启动,总投资387亿元,项目在浦东新区康桥工业区南区建设一条月产能4万片,工艺为28-20-14纳米的12英寸集成电路芯片生产线。
根据中国国际招标网,华力二期集中在2017年9月和11月合计集中采购了7台光刻机,2019年7月新采购了3台光刻机。华力二期光刻机100%都由荷兰ASML供应。
华虹无锡:也处在新一轮设备采购中
2018年4月3日,华虹集团宣布位于无锡的华虹半导体七厂开工,总投资100亿美元,一期项目总投资约25亿美元,新建一条工艺等级90-65/55nm、月产能约4万片的12英寸特色工艺集成电路生产线,支持5G和物联网等新兴领域的应用。
今年9月17日,华虹集团宣布旗下华虹半导体(无锡)有限公司的12英寸晶圆厂正式投产,主要生产55nm工艺特种芯片。
根据中国国际招标网,华虹无锡集中在2018年11月集中采购了4台光刻机,2019年8月新采购了2台365nm中紫外线扫描式光刻机。华虹无锡光刻机100%都由荷兰ASML供应。
系列研究报告链接:
1、行业篇
《半导体设备行业:ASML、KLA、AMAT业绩企稳回升,中国大陆贡献全球24%的设备市场》2019-9-15
《半导体设备行业跟踪——ASML二季度订单额创新高,逻辑客户需求强劲》2019-07-21
《晶圆厂工艺设备配置情况及国产设备市占率的统计分析》中国半导体设备年会(2019)演讲稿
《半导体设备国产化专题四》2019-06-24
《半导体设备国产化专题三》2019-06-10
《半导体设备国产化专题二》2019-05-19
《半导体设备国产化专题一》2019-05-10
《半导体设备行业跟踪:从ASML、台积电季报看半导体及其设备行业周期底部确立,5G、AI、IoT等开启新一轮半导体大周期》2019-04-21
《半导体设备行业跟踪:SemiconChina展会新产品层出,国产集成电路工艺设备正在发力》2019-03-24
《半导体设备行业跟踪:7/5nm制程、存储周期性、5G应用支撑半导体及设备行业2019年先抑后扬》2019-02-15
《半导体清洗设备:国际半导体清洗设备新星——盛美半导体的成长之路》2018-6-26
《半导体设备行业深度报告——装机大年到来,国产设备随芯崛起》2017-12-22
《平板显示设备行业深度报告—— OLED渐成主流且供不应求,Array/Cell制程设备开始进口替代》2017-10-10
2、公司篇
《精测电子—上海精测获大基金投资支持,集成电路工艺检测设备国产化有望显著加快》2019-9-5
《半导体设备行业之中微公司跟踪—投资上海睿励,支持集成电路工艺检测设备国产化》2019-8-25
《长川科技深度报告 — 新产品研发和收购STI协同效应打开成长空间》2019-8-22
《北方华创 — 半导体装备收入高增长,集成电路工艺设备新客户不断增加》2019-8-16
《科创板之华峰测控 — 半导体测试设备国产化先锋》2019-8-11
《精测电子 — 拟控股日本WINTEST,加快高端半导体测试设备国产化》2019-8-8
《科创板之芯源微 — 致力于光刻工序涂胶显影设备国产化》2019-7-26
《北方华创— 在手订单充裕,下半年业绩增速有望回升》2019-7-18
《中微半导体新股报告:全球半导体刻蚀和薄膜沉积设备新星》2019-7-5
《安集微电子(688019):打破国外垄断,实现CMP抛光液和光刻胶去除剂等集成电路领域关键材料国产化》
《科创新秀之中微半导体——国际半导体设备产业界公认的后起之秀》2019-04-09
《北方华创深度报告: 工艺设备市场地位显著提升,订单有望持续爆发》2018-09-10
《半导体清洗设备:国际半导体清洗设备新星——盛美半导体的成长之路》2018-6-26
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*陶波为本报告重要贡献人